1.负责半导体生产设备的日常维护、保养及故障诊断。
2.制定设备维护计划并监督执行。
3.优化设备运行参数，提升生产效率和良品率。
4.主导新设备引进的安装调试及验收工作。
5.编制设备操作规范并对操作人员进行技术培训。
6.监控设备运行状态，实施预防性维护措施。
7.管理设备备件库存，控制维护成本。
8.配合生产部门解决设备相关技术问题。